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Semiconductor Reticle Cassette

Semiconductor Reticle cassette
5", 6" Mask Process 및 보관에 사용하며 각 부품의 밀착구조에 의한 Particle 유입을 최소화합니다.
Mask 접촉면의 Silicon 처리를 통한 Mask 손상을 방지하며(일부품목 제외), Mask 접촉면 최소화 및 Particle 발생 최소화합니다.
제품특징
5", 6" Mask Process 및 보관에 사용
각 부품의 밀착구조에 의한 Particle 유입 최소화
Mask 접촉면의 Silicon 처리를 통한 Mask 손상방지(일부품목 제외)
Mask 접촉면 최소화 및 Particle 발생 최소화
사양
Mask size Type Model number Description
5" (S), 26mm G-Line SYI95-09G NICON / 90mil Mask
5" (S), 32mm I-Line SYI95-09L NICON / 90mil Mask
6" (S) LCD SYI97-11(LCD) NICON / 120mil Mask
6" BARCODE SYI01-11R(BAR) NICON / 250mil Mask
6" (L) SILICON SYI96-10(SIL) NICON / 250mil Mask