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OLED Photo Mask 장비

MGV MASK STOCKER
MGV Cart, Mask Stocker, 노광기 도킹 등 관련공정에 대한
기술적 Know-How를 보유하고 있습니다.
Specification
Stocker Size: W3790 × L3800× H3950mm
Stocker Weight: Approx. 3950kg
Max Load Cassette : 20EA
Cassette Size : W1080 × L1020 × H100mm
Weight : Approx. 100kg (Mask + Cassette)
Loading/Unloading : By Mask Cart
Material : SUS304, Antistatic PC, Acetal, FFU etc.
Manufacture Environment: Class 1000
Cycle Time : Max 180 Sec.
제품특징
Mask Cassette 제조업체로서 높은 제품 이해도
MGV Cart, Mask Stocker, 노광기 도킹 등 관련공정에 대한 기술적 Know-How를 보유
Class100의 환경에서 초음파 세척기. DI Water를 이용한 중요 부품 세정으로 초기 제작시 발생가능한 미세 파티클을
사전에 제거