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OLED Reticle Cassette

OLED Reticle Cassette
3세대부터 8.5세대 Line 공급하며, 밀착 구조로 Particle
유입을 최소화합니다.
Mask 접촉면 최소화 및 Bottom 휨방지 설계가 되어
있습니다.
제품특징
OLED 노광공정에서 Mask Process 및 보관에 사용
3세대부터 8.5세대 Line 공급
특수재질 사용으로 Mask 보호
각 부품의 밀착 구조에 의한 Particle 유입 최소화
Mask 접촉면 최소화 및 Bottom 휨방지 설계
사양
Mask size Model number Description
390 x 610 SYI 05-093G Canon Type, 3G Mask
520 x 800(Long Mask)
520 x 610 (Standard Mask)
SYI 05-115G Canon Type, 5G Mask
920 x 800 SYI 06-10N6G Nikon Type, 6G
1220 x 1440 SYI 06-10N8G Nikon / Canon Type, 8G